重大新聞，默孚龍光纖滑環(huán)應(yīng)用等離子蝕刻機(jī)，助力“中國(guó)芯”

  等離子刻蝕，是干法刻蝕中最常見的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過電場(chǎng)加速時(shí)，會(huì)釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。

  全自動(dòng)等離子蝕刻機(jī)的基本原理是在真空低氣壓下，ICP 射頻電源產(chǎn)生的射頻輸出到環(huán)形耦合線圈，以一定比例的混合刻蝕氣體經(jīng)耦合輝光放電，產(chǎn)生高密度的等離子體，在下電極的RF 射頻作用下，這些等離子體對(duì)基片表面進(jìn)行轟擊，基片圖形區(qū)域的半導(dǎo)體材料的化學(xué)鍵被打斷，與刻蝕氣體生成揮發(fā)性物質(zhì)，以氣體形式脫離基片，從真空管路被抽走。全自動(dòng)等離子蝕刻機(jī)工作需要360°旋轉(zhuǎn)，會(huì)遇到繞線問題，默孚龍推薦使用MFO系列光纖滑環(huán)。

  默孚龍MFO系列光纖滑環(huán)是目前工業(yè)滑環(huán)里面技術(shù)難度最高的的一個(gè)系列產(chǎn)品，主要應(yīng)用于360度連續(xù)旋轉(zhuǎn)且需要保證電源，光纖信號(hào)不能中斷的場(chǎng)合：如高端機(jī)器人、高端物料輸送系統(tǒng)、軍用車輛上的轉(zhuǎn)動(dòng)炮塔、遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)、雷達(dá)天線、光纖傳感等轉(zhuǎn)臺(tái)（速率臺(tái)）的高速視頻、數(shù)字、模擬信號(hào)的傳輸和控制、醫(yī)療系統(tǒng)、視頻監(jiān)視系統(tǒng)、保障國(guó)家或國(guó)際安全系統(tǒng)海底作業(yè)系統(tǒng)、緊急照明設(shè)備、機(jī)器人、展覽/顯示設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備等。

  默孚龍擁有強(qiáng)大的研發(fā)實(shí)力，豐富的經(jīng)驗(yàn)，獨(dú)特的設(shè)計(jì)理念，先進(jìn)的測(cè)試技術(shù)，以及數(shù)年來(lái)的技術(shù)積累和對(duì)國(guó)外先進(jìn)技術(shù)的合作及吸收，使我們的技術(shù)始終保持國(guó)際領(lǐng)先水平，引領(lǐng)行業(yè)。

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